集成传感器的一般结构与应用

文章来源:本站 发布时间:2018-05-24

集成传感器是利用集成电路工艺(镀膜、掩膜、腐蚀等)将半导体敏感元件及测量处理电路集成在一个芯片上的传感器。

半导体敏感元件是基于半导体材料和P-N结的物理效应将被测的非电量转换成电量。例如,热敏、光敏、磁敏、压敏等效应。传感器输出归一化的测量信号,由仪器完成采集、 处理等操作。若将仪器的采集、处理、控制与显示等电路均集成在同一芯片上,则称为集成仪器芯片。若将多个仪器及系统接口也集成在同一芯片上,则称为集成测量系统芯片。

集成传感器具有体积小、重量轻、高精度、高频响,且可做到高可靠、长寿命、低功耗、 低成本,是一代新型传感器。目前,已广泛用于石油、化工、机械动力、气象、地质、生物医学及航空、航天、航海等领域。

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