空气中的污染物会给人们带来不同程度的伤害，证据表明：城市大气污染物与各个年龄组的急慢性疾病有关，其中，氮氧化合物就是不可忽视的污染物之一。NO₂是一种强毒性气体，主要来源于汽车的尾气和炼油厂的废气。及时准确地获知NO₂气体体积分数对环境检测和保护，进而改善人类生存的条件有着重大的意义。近年来，有机高分子酞菁聚合物对NO₂气体的敏感性引起了人们的广泛重视，而且，MEMS工艺可以实现敏感物质的薄膜化、 器件的微型化，所以，采用MEMS技术制作的微型传感器具有区别于传统传感器的显著特点，如：体积小、功耗低、性能稳定等特点。

MEMS微型NO₂气体传感器主要由硅衬底、加热电极、测试电极和敏感膜等组成。采用MEMS工艺先制作出基片，采用真空加热蒸发镀膜机将酞菁铜蒸镀在基片上。MEMS微型NO₂气体传感器的结构如下图所示。

采用MEMS技术制作的NO₂气体传感器通过实验测试，验证了氧化型气体NO₂吸附到p型半导体酞菁铜上时，将使载流子增多，电阻下降的规律。实验结果表明：该传感器在室温20℃下对10^-6量级的NO₂气体具有很好的响应特性，便于信号的采集和处理，且响应时间短，具有可集成的特点。