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基于MEMS的新型微结构气敏传感器

文章来源:楚环传感 发布时间:2018-12-20

在微电子和微机械迅速发展的基础上,基于MEMS的新型微结构气敏传感器,主要有硅基微结构气敏传感器和硅微结构气敏传感器。硅基微结构气敏传感器是衬底为硅,敏感层为非硅材料的微结构气敏传感器。主要有金属氧化物半导体、固体电解质型、电容型、谐振器型。硅微结构: 主要是金属氧化物-半导体-场效应管(MOSFET)型和钯金属-绝缘体-半导体(MIS)二极管型。

MEMS技术将传感器与IC电路集成一起,而且精度高、体积小、质量轻功耗低、选择性高、稳定型高,同种器件之间的互换型高,可以批量生产。所以是传感器工艺的发展方向,而且基本所有的传感器都可以用MEMS技术生产。

随着 MEMS 技术和纳米技术的发展,将会给气敏传感器的发展提供更广阔的的前景。同时实现传感器陈列,也就是电子鼻集成成为可能,并将有很大的发展空间,给传感器带来新的发展篇章。

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