在微电子和微机械迅速发展的基础上，基于MEMS的新型微结构气敏传感器，主要有硅基微结构气敏传感器和硅微结构气敏传感器。硅基微结构气敏传感器是衬底为硅，敏感层为非硅材料的微结构气敏传感器。主要有金属氧化物半导体、固体电解质型、电容型、谐振器型。硅微结构： 主要是金属氧化物－半导体－场效应管（MOSFET）型和钯金属－绝缘体－半导体（MIS）二极管型。

MEMS技术将传感器与IC电路集成一起，而且精度高、体积小、质量轻功耗低、选择性高、稳定型高，同种器件之间的互换型高，可以批量生产。所以是传感器工艺的发展方向，而且基本所有的传感器都可以用MEMS技术生产。

随着 MEMS 技术和纳米技术的发展，将会给气敏传感器的发展提供更广阔的的前景。同时实现传感器陈列，也就是电子鼻集成成为可能，并将有很大的发展空间，给传感器带来新的发展篇章。